工业应用设备
半导体晶圆缺陷检测设备
01
多光谱智能透镜外观检测仪
多光谱智能透镜外观检测仪(AOSI-4000S)，主要用于各类光学元件、光学晶体、光学陶瓷的全自动表面质量检测。 本设备自动化程度高，批量上料，自动送检，智能检测，根据检测结果智能分拣，并生成统计日志。检测结果可根据需求进行保存，保证检测结果可溯源性。
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02
平面元件缺陷检测设备
平面元件外观缺陷检测设备(AOSI-4000F)主要用于平面光学元件的全自动外观质量检测，具有自动化程度高，批量上下料，自动传送，智能检测，根据检测结果智能分选，并生成每个元件的检测报告。设备可生成检测日志，按不同时间周期进行元件检测数量、缺陷检测类型比例等条件进行日志生产，观察生产良率变化，对生产工艺改进做出指导。
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03
棱镜外观缺陷检测设备
棱镜外观缺陷检测设备(AOI-4000S-P)，主要用于多面棱镜成品、半成品全自动外观质量检测，典型应用如合色棱镜。本设备自动化程度高，批量上料，一次完成多面全检，智能分析与处理，根据检测结果智能分拣，并生成统计日志。
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